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光氧催化机器设备的工作原理：在外部可见光或机器设备内部的紫外光的功效下造成催化氧化功效的，光催化氧化反应是用纳米TiO2二氧化钛及空气当做催化剂，以光为能量，裂解有机物等有机物降解为CO2和H2O。
在光催化氧化反应中，在253.7nm波段的紫外线光能的直射下纳米TiO2催化板吸收光能并同一时间形成电子跃进、空穴跃进，电子跃进和空穴跃进强力结合后形成电子空穴对，通常与表层吸附的H20、O2化学反应转化成氧化性很活波的氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、O-）。可以把空气中各种各样有害气体别的TVOC类有机物直接氧化原成H2O和CO2等小分子物质，由于选用的氧化剂是空气当中的H2O和O2，所以不会形成二次环境污染。
以甲苯为例：借助185nm波段的紫外线光束分解空气中的氧分子形成游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而形成臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对有机废气和其它小分子物有立即见效的净化实际效果。通过光氧催化废气净化设备处理后的有机废气可以分解H2O和CO2等，有机废气处理的效率能到做到85%以上。
等离子光氧一体机分为等离子分解和紫外线光解两个区，恶臭气体先经等离子分解区，再经过 UV 紫外线光解区，两级净化后达标排出。
等离子光氧一体机是等离子分解废气净化器+UV 光解除臭废气净化器两种设备的结合，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和 UV 紫外光解技术相结合，对废气和臭气进行协同净化处理！它具有运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，等离子光解一体机净化设备净化效率在95%以上。
等离子光氧一体机工作原理：
当废气进入等离子光氧一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无害无味气体。采用高能 C 波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3 强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在 C 波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高能高臭氧 UV 紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧， 即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的 氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的效果。O3 也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸。
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